[发明专利]一种3D‑MEMS光开关

摘要

一种3D‑MEMS光开关，包括准直器阵列、PD阵列、覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃、微机电系统MEMS微镜以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器。本发明中，将PD阵列集成到核心光开关内部，简化了光开关架构和体积，采用覆盖在PD阵列上且加镀有部分反射膜的窗口玻璃，折叠了光路，光信号部分透射到PD阵列上，从而核心光开关控制器根据PD阵列检测到的光信号的光功率调整MEMS微镜，使3D‑MEMS光开关的插入损耗满足预设的衰减区间，本发明简化了空间光路的设计，有利于实现大规模3D‑MEMS光开关，且节省了成本。

主权项

一种三维微机电系统3D‑MEMS光开关，其特征在于，所述3D‑MEMS光开关包括：准直器阵列、功率检测器PD阵列、覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃、微机电系统MEMS微镜以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器；所述覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃，用于从所述准直器阵列获取光信号，将从所述准直器阵列获取到的光信号部分反射到所述MEMS微镜上并部分透射到所述PD阵列上，还用于获取所述MEMS微镜反射的光信号，将所述MEMS微镜反射的光信号部分反射到所述准直器阵列上并部分透射到所述PD阵列上；所述PD阵列，用于检测透射到PD阵列上的光信号的光功率；所述核心光开关控制器，用于根据检测到的所述透射到PD阵列上的光信号的光功率调整所述MEMS微镜，使所述3D‑MEMS光开关的插入损耗满足预设的目标衰减值；其中，所述PD阵列包括：输入PD阵列和输出PD阵列；所述覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃包括：输入窗口玻璃和输出窗口玻璃；所述准直器阵列包括：输入准直器阵列和输出准直器阵列；所述MEMS微镜包括：输入MEMS微镜和输出MEMS微镜；所述输入窗口玻璃，用于从所述输入准直器阵列中获取所述光信号，将从所述输入准直器阵列获取到的光信号部分反射到所述输入MEMS微镜上并部分透射到所述输入PD阵列上；所述输入MEMS微镜，用于将反射到所述输入MEMS微镜的光信号反射到所述输出MEMS微镜上；所述输出MEMS微镜，用于将反射到所述输出MEMS微镜的光信号反射到所述输出窗口玻璃上；所述输出窗口玻璃，用于获取所述输出MEMS微镜反射的光信号，将所述MEMS微镜反射的光信号部分反射到所述输出准直器阵列上并部分透射到所述输出PD阵列上；其中，插入损耗用于描述光器件对光功率的损耗特征，插入损耗等于输出光功率减去输入光功率。