[发明专利]反应腔

摘要

本发明公开了一种反应腔。包括腔体内衬、冷却腔体和吹扫结构，所述吹扫结构包括从所述冷却腔体外穿过所述冷却腔体的第一进气管，所述第一进气管朝向腔体内衬一端具有出气口，从所述第一进气管的出气口到所述腔体内衬面向所述冷却腔体的表面最短距离的连线方向为第一方向，吹扫气体从所述出气口导出的方向为第二方向，由于第二方向与第一方向成夹角，可以延长吹扫气体扩散路径，且使得接触内衬的面积也增大，减少了降温的效果，从而减少了腔体内衬局部温度过低的情况发生，能够形成均匀的气流场，同时能够使得腔体内衬与冷却腔体内壁之间的空间得到保护并且维持平稳，有利于维持反应的正常进行。

主权项

一种反应腔，包括腔体内衬和冷却腔体，所述腔体内衬套设在所述反应腔内并围绕反应腔的反应区域；所述反应腔还包括吹扫结构，所述吹扫结构用于向所述冷却腔体与所述腔体内衬之间的空间通入吹扫气体；其特征在于：所述吹扫结构包括从所述冷却腔体外穿过所述冷却腔体，延伸到所述冷却腔体与所述腔体内衬之间的空间的第一进气管，所述第一进气管朝向腔体内衬一端具有出气口，从所述第一进气管的出气口到所述腔体内衬面向所述冷却腔体的表面最短距离的连线方向为第一方向，吹扫气体从所述出气口导出的方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向成夹角。