[发明专利]一种掩膜版回推机构有效
| 申请号： | 201310168049.3 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104142612A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王刚;胡松立;姜晓玉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜版回推机构，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。本发明利用所述电机的旋转驱动所述密封门的开合，并利用固定于所述密封门上的推动机构推动掩膜版，使其回复至初始位置，便于后续机械手的抓取动作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版回推 机构 | ||
【主权项】：
一种掩膜版回推机构，其特征在于，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。
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