[发明专利]一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备有效
| 申请号： | 201310149342.5 | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN104120401B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 张超;梁敏敏;彭侃 | 申请（专利权）人： | 汉能联创移动能源投资有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,张春雨 |
| 地址： | 100101 北京市朝阳区北辰西*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备，其中，所述线列式多片传输系统包括支撑架和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架和支架传送装置，所述支架传送装置滑动内嵌于所述支撑架内，所述支架传送装置带动所述承载支架做线性运动；且在所述支撑架上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器。使用所述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备可以一次投入多片待沉积基板，解决了现有技术中一次只能投放一片而造成的生产效率低下的问题，可有效提高生产效率、降低生产成本，且结构简单，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线列式多片 传输 系统 使用 薄膜 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种线列式多片传输系统，其特征在于:包括支撑架(1)和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架(2)和支架传送装置(3)，所述支架传送装置(3)滑动内嵌于所述支撑架(1)内，所述支架传送装置(3)带动所述承载支架(2)做线性运动；且在所述支撑架(1)上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器(4)；所述承载支架(2)的背部设有承载支架滚动轮(7)，所述承载支架滚动轮(7)与承载支架导轨(8)滑动配合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉能联创移动能源投资有限公司，未经汉能联创移动能源投资有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310149342.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种云服务器
- 下一篇：一种基于神经元的高速缓存机器翻译方法及系统
- 同类专利
- 专利分类
