[发明专利]非等截面悬臂梁压电式加速度传感器无效
申请号: | 201310137040.6 | 申请日: | 2013-04-18 |
公开(公告)号: | CN103197101A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 聂泳忠;陈学军 | 申请(专利权)人: | 厦门乃尔电子有限公司 |
主分类号: | G01P15/09 | 分类号: | G01P15/09 |
代理公司: | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人: | 许育辉 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种非等截面悬臂梁压电式加速度传感器,包括基座、质量块、悬臂梁和压电元件,悬臂梁一端固定于基座上,另一端连接质量块,悬臂梁上开有凹槽形成非等截面悬臂梁;所述压电元件固定在悬臂梁的凹槽上方,且与悬臂梁绝缘。该结构采用应力集中的非等截面悬臂梁结构设计压电式传感器,结合了压阻式非等截面悬臂梁加速度传感器低频特性好、灵敏度高的优点及压电式加速度传感器量程大、精度高、频响范围宽、工作温度范围宽、稳定性好等优点,克服了传统压阻式传感器比较脆弱,易损坏,受温度影响大的缺点和压电传感器低频特性差的缺点,实现了灵敏度高、感测频率范围宽、耐高温的压电式加速度传感器。 | ||
搜索关键词: | 截面 悬臂梁 压电 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
非等截面悬臂梁压电式加速度传感器,包括基座、质量块、悬臂梁和压电元件,其特征在于:悬臂梁一端固定于基座上,另一端连接质量块,悬臂梁上开有凹槽形成非等截面悬臂梁;所述压电元件固定在悬臂梁的凹槽上方,且与悬臂梁绝缘。
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