[发明专利]激光加工方法有效
| 申请号： | 201310096383.2 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103358016A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 中村胜 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光加工方法，能够与被加工物的被激光光束照射的被照射面的状态无关地在被加工物内形成均匀的改性层。所述激光加工方法包括下述步骤：反射率检测步骤，检测被加工物（1）的被激光光束照射的被照射面对所照射的激光光束的反射率；防反射膜形成步骤，基于检测出的反射率在被加工物（1）的被照射面形成防反射膜（5）以使被照射面的反射率达到预定的反射率以下；以及激光加工步骤，对被加工物（1）的被照射面，即防反射膜（5）的表面照射具有透过性的波长的激光光束（L）以在被加工物（1）的内部形成改性层。由于将防反射膜（5）的表面作为被照射面来向被加工物（1）的内部照射激光光束，因此能够形成均匀的改性层。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工方法，所述激光加工方法为对被加工物照射具有透过性的波长的激光光束以在被加工物形成改性层的激光加工方法，其特征在于，所述激光加工方法包括下述步骤：反射率检测步骤，在该反射率检测步骤中，检测被加工物的被激光光束照射的被照射面对所照射的激光光束的反射率；防反射膜形成步骤，在该防反射膜形成步骤中，在所述反射率检测步骤实施后，基于检测出的反射率在被加工物的所述被照射面形成防反射膜以使所述被照射面的反射率达到预定的反射率以下；以及激光加工步骤，在该激光加工步骤中，在所述防反射膜形成步骤实施后，对被加工物的所述被照射面照射具有透过性的波长的激光光束以在被加工物的内部形成改性层。
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