[发明专利]光刻照明模式产生装置有效
| 申请号： | 201310092523.9 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103135369A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 朱玲琳;张善华;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻照明模式产生装置，该装置包括线起偏器、衍射光学元件、变焦镜组、偏振分光器、四分之一波片、凸锥形镜和平面反射镜，本发明无需使用凹锥形镜，减小了加工的难度，并且具有结构紧凑的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 照明 模式 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻照明模式产生装置，包括线起偏器（1）、衍射光学元件（2）、变焦镜组（3）、偏振分光器（4）、四分之一波片（5）、凸锥形镜（6）和平面反射镜（7），上述元部件的位置关系如下：所述的凸锥形镜的凸面靠近平面反射镜，一束平行光经过所述的线起偏器后形成线偏振光，该线偏振光依次经过所述的衍射光学元件、变焦镜组、偏振分光器和四分之一波片后形成圆偏振光，该圆偏振光经过所述的凸锥形镜后被所述的平面反射镜反射形成反射光，该反射光再经过所述的四分之一波片后被所述的偏振分光器的分光面反射形成相应的光刻照明模式，所述的偏振分光器的分光面上的透射光的偏振方向与所述的线起偏器的透振轴方向一致，即成0°角，所述的四分之一波片的快轴与所述的线起偏器的透振轴成45°角。
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