[发明专利]两自由度高速并联扫描平台及其垂直度误差的校准方法

摘要

本发明涉及一种两自由度高速并联扫描平台及其垂直度误差的校准方法，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、关节轴承和PSD位置传感器。本发明实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反射镜结构，只需一次反射即可完成扫描工作，避免了双镜反射带来的误差放大效应。同时，本发明采用两输入两输出结构，控制上较现有技术容易很多；还采用了关节轴承结构，可以有更大的刚度和偏转角度；又由于采用了二维PSD位置传感器作为反射镜法向位置的反馈装置实现全闭环，可以达到很高的精度。本发明提供的一种两自由度高速并联扫描平台具有精度高、刚度大，承载能力强的特点。

主权项

一种两自由度高速并联扫描平台，其特征在于，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、关节轴承和PSD位置传感器；所述反射镜轴机构包括主轴、反射镜、反射镜支架、调平螺钉和激光发射器，所述主轴为一端直径较大一端直径较小的阶梯轴，其轴心处具有一轴向的通孔，所述反射镜固定于反射镜支架上，反射镜支架通过多个调平螺钉固定于主轴大轴端的端面，所述激光发射器固定于主轴轴心处的通孔内，其激光发射方向沿主轴的轴心穿过通孔，指向主轴的小轴端；所述主轴的大轴端固定于关节轴承的内圈，关节轴承的外圈固定于机壳上；所述PSD位置传感器固定于机壳上，与主轴的小轴端相对设置；两个直线驱动机构活动安装于机壳内，分别为第一直线驱动机构和第二直线驱动机构，所述第一直线驱动机构和第二直线驱动机构的运动输出端分别与主轴连接，驱动主轴在关节轴承上绕关节轴承的旋转中心摆动。