[发明专利]电流传感器、匹配器、以及等离子体装置有效
| 申请号： | 201310088040.1 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104062481B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 成晓阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电流传感器，用于对匹配器输出端的主电路电流进行测量，所述电流传感器包括电流采样模块和信号处理模块，所述电流采样模块包括包裹在主电路外的磁环，所述磁环具有分流结构，通过调整分流比例，使得生成较小耦合感应电流的分支对较大的主电路电流进行检测，生成较大耦合感应电流的分支对较小的主电路电流进行检测，实现生成的耦合感应电流能够满足信号处理模块的输入范围的要求，从而使得电流传感器具有较大的测量范围。该电流传感器结构灵活，能够对多种电流组合进行测量，从而扩展了电流传感器的适用性，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电流传感器 配器 以及 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种电流传感器，用于对匹配器输出端的主电路电流进行测量，所述电流传感器包括电流采样模块和信号处理模块，所述电流采样模块包括包裹在主电路外的磁环，所述磁环上缠绕有电感线圈，所述电感线圈与所述主电路形成电磁耦合，从而生成感应电流，所述信号处理模块获取所述感应电流的信号以进行信号处理，其特征在于，所述磁环具有分流结构，通过调整分流比例，使得生成较小耦合感应电流的分支对较大的主电路电流进行检测，生成较大耦合感应电流的分支对较小的主电路电流进行检测，实现生成的耦合感应电流能够满足信号处理模块的输入范围的要求，从而使得电流传感器具有较大的测量范围；所述分流结构，包括至少上下两个部分，分别为上部磁环和下部磁环，所述上部磁环缠绕有上部线圈，所述下部磁环缠绕有下部线圈，所述上部线圈和所述下部线圈分别具有感应电流，且感应电流被选择性地提供给所述信号处理模块，以使所述信号处理模块根据所述上部线圈或者所述下部线圈生成的感应电流进行信号处理。
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