[发明专利]一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法有效
| 申请号： | 201310080808.0 | 申请日： | 2013-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104045075B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李铁;梁晨;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，包括步骤1）提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金属衬底表面的氧化物进行还原；4）于第二温度下将碳源气体与硫源气体通入所述反应炉进行反应，于所述金属衬底表面形成硫掺杂石墨烯；5）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的在金属衬底上制备硫掺杂石墨烯，经济成本低，可大规模生产大面积的硫掺杂石墨烯，可以实现对石墨烯进行可控掺杂并且便于后续器件制备的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 化学 沉积 法制 掺杂 石墨 方法 | ||
【主权项】：
一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，其特征在于，至少包括以下步骤：1)提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2)采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3)于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金属衬底表面的氧化物进行还原；4)于第二温度下将碳源气体与硫源气体通入所述反应炉进行反应，于所述金属衬底表面形成硫掺杂石墨烯，所述硫源包括硫化氢及硫化羰中的一种，采用惰性气体、氢气、甲烷及硫化氢为反应气体形成硫掺杂石墨烯，或者采用惰性气体、氢气、乙炔及硫化羰为反应气体形成硫掺杂石墨烯；5)于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。
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