[发明专利]镀膜方法有效
| 申请号： | 201310076464.6 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104046941B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李一凡;陈正言;孙圣渊 | 申请（专利权）人： | 新世纪光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜方法。提供一共晶合金靶材，且共晶合金靶材至少包括一第一金属与一第二金属。提供一纯金属靶材。混合共晶合金靶材以及纯金属靶材并通过一物理镀膜处理以在一元件上形成一合金薄膜。合金薄膜中至少包括一第三金属与一第四金属，其中分别以合金薄膜与共晶合金靶材的总重量为基准，合金薄膜中第三金属的重量百分比约等于共晶合金靶材中第一金属的重量百分比，合金薄膜中第四金属的重量百分比约等于共晶合金靶材中第二金属的重量百分比。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种镀膜方法，其特征在于，包括：提供一共晶合金靶材，该共晶合金靶材至少包括一第一金属与一第二金属；提供一纯金属靶材；以及混合该共晶合金靶材以及该纯金属靶材并通过一物理镀膜处理以在一元件上形成一合金薄膜，该合金薄膜中至少包括一第一金属与一第二金属，其中分别以该合金薄膜与该共晶合金靶材的重量为基准，该合金薄膜中该第一金属的重量百分比约等于该共晶合金靶材中该第一金属的重量百分比，该合金薄膜中该第二金属的重量百分比约等于该共晶合金靶材中该第二金属的重量百分比。
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