[发明专利]一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法无效
| 申请号： | 201310072851.2 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103159217A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 谢宝庚;张建新 | 申请（专利权）人： | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法，其进料管道（4）与立式罐一进料阀（8）和立式罐二进料阀（9）相连，所述出料管道（5）与立式罐一出料阀（10）和立式罐二出料阀（11）相连，所述排污管道（7）与收集罐（3）和立式罐一排污阀（12）及立式罐二排污阀（13）相连，所述反吹管道（6）与出料管道（5）和立式罐一反吹阀（18）及立式罐二反吹阀（19）相连，所述收集罐排气管道（14）与进料管道（4）相连，所述收集罐（3）底部设置有排泄阀（20）。其不但可以保证生产系统的稳定运行，延长设备的使用寿命，同时具有设备结构以及工艺简单，容易操作，效果明显等优点，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 尾气 收集 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一（1）、立式罐二（2）、收集罐（3）、进料管道（4）、出料管道（5）、反吹管道（6）、排污管道（7）、收集罐排气管道（14），其特征在于：所述进料管道（4）与立式罐一进料阀（8）和立式罐二进料阀（9）相连，所述出料管道（5）与立式罐一出料阀（10）和立式罐二出料阀（11）相连，所述排污管道（7）与收集罐（3）和立式罐一排污阀（12）及立式罐二排污阀（13）相连，所述反吹管道（6）与出料管道（5）和立式罐一反吹阀（18）及立式罐二反吹阀（19）相连，所述收集罐排气管道（14）与进料管道（4）相连，所述收集罐（3）底部设置有排泄阀（20）。
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