[发明专利]处理装置和处理方法有效
| 申请号： | 201310070532.8 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103301992A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 藤田博;矶明典;添田胜之;西部幸伸;佐佐木真一 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/10;C03C15/00;C03C17/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 杨谦;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种处理装置，具备：输送部，输送被处理物；回收部，回收已供给到由所述输送部输送的所述被处理物的处理面上的第一处理液；第一喷嘴，将由所述回收部回收的所述第一处理液向所述被处理物的处理面喷出；第二喷嘴，设置在所述第一喷嘴的输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出第二处理液；以及第三喷嘴，设置在所述第二喷嘴的输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出清洗液，所述第二喷嘴朝着与相对所述输送方向垂直的方向相比向所述输送方向的下游侧喷出所述第二处理液，所述第三喷嘴朝着与相对所述输送方向垂直的方向相比向所述输送方向的上游侧喷出所述清洗液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝;芝浦机械电子株式会社，未经株式会社东芝;芝浦机械电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310070532.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
