[发明专利]功率和频率的基于阻抗的调节有效
| 申请号： | 201310057803.6 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103295866A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于功率和频率的基于阻抗的调节的系统和方法。系统包括用于收容等离子体的等离子体腔室。所述等离子体腔室包括电极。所述系统包括与等离子体腔室耦合以用于向所述电极提供射频（RF）信号的驱动器放大器。驱动器放大器经由传输线与等离子体腔室耦合。系统进一步包括与驱动器放大器耦合的选择器、与选择器耦合的第一自动频率控制器（AFC）以及与选择器耦合的第二AFC。该选择器被配置为基于在传输线上感测到的电流和电压的值来选择第一AFC或第二AFC。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 频率 基于 阻抗 调节 | ||
【主权项】：
一种系统，包括：等离子体腔室，其用于收容等离子体，所述等离子体腔室包括电极；驱动器放大器，其与所述等离子体腔室耦合，用于向所述电极提供射频（RF）信号，所述驱动器放大器经由传输线与所述等离子体腔室耦合；选择器，其与所述驱动器放大器耦合；第一自动频率控制器（AFC），其与所述选择器耦合；第二AFC，其与所述选择器耦合；其中所述选择器被配置为基于在所述传输线上感测到的电流和电压的值来选择所述第一AFC或所述第二AFC。
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