[发明专利]接触式探针有效
| 申请号： | 201310053307.3 | 申请日： | 2013-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103256891B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·乌里奥德;色格·玛丽尔;A·M·麦勒杜 | 申请（专利权）人： | 特莎有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 党晓林,王小东 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 探针 | ||
【主权项】：
一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，单块金属弹性元件将所述感应器相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的用于检测所述感应器的位移的检测系统，所述光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移而被驱动；以及接收由所述光源发出的光的光学图像传感器，其中，所述光学图像传感器上的光强度的空间分布根据所述感应器的位移而改变，并且其中，所述单块金属弹性元件具有大致筒状形状，所述筒状形状具有对应于两个底部的两个端部元件，所述感应器与一端部元件的中心连接，并且所述光源与相对的端部元件的中心连接，其中每个端部元件均具有与所述接触式探针的主体一体结合的外周环以及允许所述光源沿着三条轴线移位的多个可变形元件。
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