[发明专利]烷氧基氨基硅烷化合物及其应用有效
| 申请号： | 201310051550.1 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103224510A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | D·P·斯彭斯;R·M·皮尔斯泰恩;雷新建;萧满超;R·霍;M·L·奥内尔;H·钱德拉 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07F7/18 | 分类号： | C07F7/18;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文描述了具有式I的烷氧基氨基硅烷化合物以及用于沉积含硅薄膜的方法和组合物：(R1R2)NSiR3OR4OR5 式(I)其中R1独立地选自直链或支链C1-C10烷基、C2-C12烯基、C2-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基；R2和R3各自独立地选自氢、直链或支链C1-C10烷基、C3-C12烯基、C3-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基；且R4和R5各自独立地选自直链或支链C1-C10烷基、C2-C12烯基、C2-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基。 | ||
| 搜索关键词： | 烷氧基 氨基 硅烷 化合物 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种用于沉积含硅薄膜的烷氧基氨基硅烷，其具有通式(I)：(R1R2)NSiR3OR4OR5 式(I)其中R1独立地选自直链或支链C1‑C10烷基、C2‑C12烯基、C2‑C12炔基、C4‑C10环烷基和C6‑C10芳基；R2和R3各自独立地选自氢、直链或支链C1‑C10烷基、C3‑C12烯基、C3‑C12炔基、C4‑C10环烷基和C6‑C10芳基；且R4和R5各自独立地选自直链或支链C1‑C10烷基、C2‑C12烯基、C2‑C12炔基、C4‑C10环烷基和C6‑C10芳基，其中R1和R2连接形成环或者R1和R2不连接形成环，并且其中R4和R5连接形成环或者R4和R5不连接形成环。
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