[发明专利]载体传输器以及利用其传输基板载体的方法有效

专利信息
申请号: 201310044499.1 申请日: 2013-02-04
公开(公告)号: CN103295944B 公开(公告)日: 2017-08-11
发明(设计)人: 李在南;金仁彻;金钟勋;粱熙相;元裕东;李成烈;李钟仁;张珉九;全佑哲 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京市柳沈律师事务所11105 代理人: 张波
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具,该基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元,该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置,该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
搜索关键词: 载体 传输 以及 利用 方法
【主权项】:
一种载体传输器,用于自动传输基板载体,所述载体传输器包括:夹具,可拆卸地耦接到所述基板载体,所述基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过所述敞开门装载到所述基板载体中或从所述基板载体卸载;以及门阻挡单元,固定到所述夹具并配置为转换至阻挡位置,所述阻挡位置为所述门阻挡单元部分地阻挡所述门从而在所述基板载体的自动传输期间防止所述多个基板从所述基板载体分离的位置,其中所述门阻挡单元包括:固定到所述夹具的移动板,所述移动板根据所述夹具是与所述基板载体耦接还是与所述基板载体分离而改变位置;以及固定到所述移动板的阻挡构件,所述阻挡构件沿所述基板载体向下延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310044499.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top