[发明专利]一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法无效
| 申请号： | 201310043955.0 | 申请日： | 2013-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN103074688A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 徐宗伟;李万里;房丰洲;兀伟 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C30B33/04 | 分类号： | C30B33/04;C30B31/22 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于离子溅射加工技术领域，涉及一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法，将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上，在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量，调节激光的出射能量至100mW-3000mW，关闭激光器，取出能量仪，调节样品台使得金刚石材料处于激光出射透镜的焦距处，调节激光器的照射时间为5ms-5000ms，打开激光器进行恢复处理。本发明能显著降低金刚石表面损伤层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 恢复 离子 注入 金刚石 损伤 方法 | ||
【主权项】：
一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法，其特征在于，将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上，在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量，调节激光的出射能量至100mW‑3000mW，关闭激光器，取出能量仪，调节样品台使得金刚石材料处于激光出射透镜的焦距处，调节激光器的照射时间为5ms‑5000ms，打开激光器进行恢复处理。
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