[发明专利]一种在宽温区精确测量变温椭圆偏振的装置和方法

摘要

一种在宽温区精确测量变温椭圆偏振的装置和方法，属光学测量技术领域。该装置由光谱式椭圆偏振仪、恒温装置和控温系统组成。通过控温系统预设控温温度，并控制恒温装置中的电热丝产生热量，与注入恒温装置的液氮中和，达到预设的控温温度。从而实现在宽温区（77K到423K）精确变温椭圆偏振测量。该装置和方法的主要优点是变温区域大，控温精度高，实用性强，成本低。

主权项

一种在宽温区精确测量变温椭圆偏振的装置，包括光谱式椭偏仪，恒温装置和控温系统，其特征在于恒温装置包括杜瓦瓶、载物台、基座和三维可调节平台，三维可调节平台位于基座上方，能进行三维方向调节，载物台为方桶状，上面开口，下面带底封闭，其四侧面上开有相对的四个窗口，分别由石英玻璃封装密闭，前后两个相对的窗口为观察窗口，左右两个窗口为测量窗口；载物台下底面带有电热丝，载物台位于杜瓦瓶内下部，载物台内与杜瓦瓶内相连通，杜瓦瓶连同载物台置于三维可调节平台上面，杜瓦瓶上面加盖封闭，盖上面带有调节阀、温度传感器安装口和真空阀；控温系统包括温度传感器、放大器、单片机，其中温度传感器安装在载物台上，温度传感器经温度传感器安装口由导线连接到放大器的输入端，放大器的输出端连接到单片机，单片机的控制端口连接贴于载物台下部底面的电热丝上以产生热量，控制加热丝电流以调整杜瓦瓶内冷量和热量的平衡从而控制温度；光谱式椭偏仪的入射臂和出射臂分别位于载物台侧面的两个测量窗口处以对放置在载物台内的待测样品进行椭圆偏振测量。