[发明专利]产生宽带可调谐相干极紫外或软X射线的装置无效
| 申请号： | 201310041970.1 | 申请日： | 2013-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN103138149A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李佳蔚;芦慧;赵诗童;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S4/00 | 分类号： | H01S4/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种产生宽带可调谐相干极紫外或软X射线的装置，该装置包括飞秒激光器、半波片、高对比度反射式偏振器、聚焦透镜、真空腔、三维调整架和喷气靶，本发明可实现射线源波长的实时调谐和强度调节，波长调谐宽度可达1.4ev以上，同时还可以实现特定波段谱带变宽到4倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 宽带 调谐 相干 紫外 射线 装置 | ||
【主权项】：
一种利用高次谐波产生宽带可调谐相干极紫外或软X射线的装置,其特征在于该装置包括飞秒激光器（1）、半波片（3）、高对比度反射式偏振器（4）、聚焦透镜（5）、真空腔（7）、三维调整架（8）和喷气靶（9），上述元部件的位置关系如下：所述的真空腔（7）具有四个窗口：所述的第一窗口和第三窗口与真空腔（7）的中心成一直线，第三窗口与第四窗口的连线与所述的直线相互垂直，第一窗口设有窗片（6），第三窗口为出光口贴有滤光膜（11），沿所述的飞秒激光器（1）输出的激光方向依次是所述的半波片（3）、高对比度反射式偏振器（4）、聚焦透镜（5）、真空腔（7）第一窗口的窗片（6）、喷气靶（9）喷出的氖气（10）和位于真空腔（7）第三窗口上的滤光膜（11），所述的喷气靶（9）的连通管装设在位于所述的真空腔（7）第二窗口外的三维调整架（8）上，所述的半波片（3）具有角度调节机构，所述的飞秒激光器（1）输出的激光束（2）首先经过所述的半波片（3）和个高对比度反射式偏振器（4）组成的光束能量调节系统，然后穿过所述的聚焦透镜（5）和窗片（6）聚焦到所述的真空腔（7）中所述的聚焦透镜（5）的焦点，通过调节所述的三维调整架（8）使所述的喷气靶（9）喷出的氖气（10）对准所述的焦点，所述的飞秒激光与所述的氖气（10）作用产生的极紫外或软X射线经真空腔体（7）的滤光膜（11）输出。
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