[发明专利]一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材无效
| 申请号： | 201310040149.8 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103060793A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 庄志杰 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人： | 郭春远 |
| 地址： | 215214 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材，采用冷喷涂方法制备难熔金属旋转溅射靶材，基管为不锈钢管，喷涂用难熔金属粉纯度≥99.95%，粒度：150～500目，冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2～3Mpa，温度300～500℃；工作气加热到500～850℃,增压至3.0～3.5Mpa；采用N2为工作气，N2流量为28～60米3/时；最后获得靶材靶材厚度6～9毫米，靶材密度95～98%，纯度≥99.95%，含氧量≤1000ppm。同时，由于喷涂较低涂层发生相变的驱动力较小，不易出现大长度粉体晶粒，比等离子喷涂形成的靶材具备更加良好细微的粒度，靶材品质大幅度提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷涂 方法 制备 金属 旋转 溅射 | ||
【主权项】：
一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材，其特征是：采用冷喷涂方法制备难熔金属旋转溅射靶材，基管为不锈钢管，喷涂用难熔金属粉纯度≥99.95%，粒度：150～500目，冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2～3Mpa，温度300～500℃；工作气加热到500～850℃,增压至3.0～3.5Mpa；采用N2为工作气，N2流量为28～60米3/时；最后获得靶材靶材厚度6～9毫米，靶材密度95～98%，纯度≥99.95%，含氧量≤1000ppm。
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