[发明专利]微波放射机构和表面波等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310039655.5 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103227089A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 池田太郎;长田勇辉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即便在微波的投入电力低的情况下、压力高的情况下也能够确保所期望的表面波等离子体的直径的微波放射机构和表面波等离子体处理装置。微波放射机构（43）包括：传送微波的传送路径（44）；将从微波传送路径（44）传送来的微波经由缝隙（81a）放射到腔室（1）内的天线（81）；使从天线（81）放射的微波透过，在其表面形成表面波的电介质部件（110b）；和对由表面波生成表面波等离子体的等离子体生成区域施加正的直流电压的直流电压施加部件（112），直流电压施加部件（112）对上述等离子体生成区域施加正的直流电压，使得表面波等离子体扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 放射 机构 表面波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种微波放射机构，其在利用在腔室内形成表面波等离子体进行等离子体处理的等离子体处理装置中，将由微波生成机构生成的微波放射到腔室内，所述微波放射机构的特征在于，包括：传送路径，其具有呈筒状的外侧导体和同轴地设置在所述外侧导体中的内侧导体，该传送路径传送微波；天线，其将在所述微波传送路径中传送来的微波经由缝隙放射到所述腔室内；电介质部件，其使从所述天线放射的微波透过，在其表面形成表面波；和直流电压施加部件，其对由所述表面波生成表面波等离子体的等离子体生成区域施加正的直流电压，所述直流电压施加部件对所述等离子体生成区域施加正的直流电压，使得所述表面波等离子体扩散。
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