[发明专利]刻蚀烘烤设备及其操作方法

摘要

本发明涉及一种刻蚀烘烤设备及其操作方法，该设备包括：容纳需进行烘烤的物件的反应炉；位于反应炉下方并对物件进行升降的升降装置；在升降过程中对物件进行冷却的层流冷却装置；位于反应炉内部、包括循环风冷却系统和水冷却系统的第一冷却组件，循环风冷却系统构造成通入气流进行冷却，水冷却系统构造成通入冷却水进行冷却；换热器；鼓风机；以及位于反应炉外部的第二冷却组件，第二冷却组件包括将循环风冷却系统、换热器和鼓风机连接成通风回路的通风管道。本发明所提供的这种刻蚀烘烤设备具有优化的布局、紧凑的结构，不但可以改善MOCVD的外延片的生长成品率和衬底片的重复利用率，而且占地面积小、工作效率高，便于工业应用和推广。

主权项

一种刻蚀烘烤设备，其特征在于，包括：容纳需进行烘烤的物件的反应炉（10）；位于所述反应炉（10）下方并对所述物件进行升降的升降装置（1004）；在升降过程中对所述物件进行冷却的层流冷却装置（1005）；位于所述反应炉（10）内部的第一冷却组件，所述第一冷却组件包括循环风冷却系统（310）和水冷却系统（350），所述循环风冷却系统（310）构造成通入气流进行冷却，所述水冷却系统（350）构造成通入冷却水进行冷却；换热器（1009）；鼓风机（1010）；以及位于所述反应炉（10）外部的第二冷却组件，所述第二冷却组件包括将所述循环风冷却系统（310）、所述换热器（1009）和所述鼓风机（1010）连接成通风回路的通风管道（1013、1014、1015）。