[发明专利]一种金属陶瓷复合基板及其制造方法

摘要

本发明适用于基板领域，提供了一种金属陶瓷复合基板及其制造方法，旨在解决现有技术中金属基板的导热性差以及金属陶瓷复合基板的结合性能差的问题。本发明提供的金属陶瓷复合基板包括金属基体、设置于金属基体上的陶瓷层、设置于陶瓷层表面的金属线路层以及形成于金属基体上并连接陶瓷层的金属陶瓷过渡层，陶瓷层位于金属陶瓷过渡层与金属线路层之间，金属陶瓷过渡层由金属和金属氮化物组成，陶瓷层由陶瓷薄膜构成。本发明利用陶瓷层以提高基板的导热性，通过设置金属陶瓷过渡层以改善陶瓷层与金属基体之间的结合性能，提高结合可靠性。

主权项

一种金属陶瓷复合基板，包括金属基体、设置于所述金属基体之第一表面的陶瓷层以及设置于所述陶瓷层之背离所述金属基体的表面的金属线路层，所述陶瓷层位于所述金属基体与所述金属线路层之间，其特征在于，还包括通过在所述金属基体之第一表面上注入氮形成的并连接所述陶瓷层的金属陶瓷过渡层，所述金属陶瓷过渡层为金属和金属氮化物的混合物构成，所述陶瓷层由陶瓷薄膜构成。