[发明专利]光刻照明系统

摘要

一种光刻照明系统，包括激光光源，沿激光光源的激光前进方向依次是准直扩束单元、光瞳整形单元、第一微透镜阵列、微积分棒阵列、微扫描狭缝阵列、第二微透镜阵列、聚光镜组和掩膜，运动控制单元控制所述的微扫描狭缝阵列的运动，本发明光刻照明系统减小了扫描狭缝的扫描行程和速度，降低了扫描狭缝振动带来的影响，提高了系统透过率，且具有结构简单的特点。

主权项

一种光刻照明系统，包括激光光源（1）、准直扩束单元（2）、光瞳整形单元（3）、第一微透镜阵列（4）、第二微透镜阵列（5）、聚光镜组（6）、、掩膜（9）、其特征在于还有微扫描狭缝阵列（7）、运动控制单元（10）和微积分棒阵列（11），上述元部件的位置关系是：激光光源(1)出射的激光束依次经过所述的准直扩束单元(2)、光瞳整形单元(3)、第一微透镜阵列(4)、微积分棒阵列(11)、微扫描狭缝阵列(7)、第二微透镜阵列(5)、聚光镜组(6)后照射到掩膜9上；所述的运动控制单元（10）与所述的微扫描狭缝阵列（7）相连，控制所述的微扫描狭缝阵列（7）的移动速度与行程，扫描相应的光场；所述的第一微透镜阵列（4）处于所述的光瞳整形单元（3）的出瞳面；所述的微积分棒阵列（11）的入射端面位于第一微透镜阵列（4）的后焦面；微积分棒阵列（11）的出射端面处于第二微透镜阵列（5）的前焦面；第二微透镜阵列（5）的后焦面与掩膜（9）的位置相对于所述的聚光镜组（6）共轭，所述的第一微透镜阵列（4）由多个完全相同的第一微透镜（41）组成，所述的第二微透镜阵列（5）由多个完全相同的第二微透镜（51）组成，所述的微积分棒阵列（11）由多个完全相同的微积分棒（111）组成，所述的第一微透镜（41）、所述的微积分棒（111）和所述的第二微透镜（51）一一对应。