[发明专利]一种用于匹配器设备的空气电容结构有效
| 申请号： | 201310029910.8 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN103065791A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 杨进;徐维江;李勇滔;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01G4/228 | 分类号： | H01G4/228;H01G4/38 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 配器 设备 空气 电容 结构 | ||
【主权项】：
一种用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。
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