[发明专利]气体传输装置及其气体分流装置的测试方法有效
| 申请号： | 201310013461.8 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103928284A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 魏强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于等离子体处理腔室的气体输送装置，所述气体输送装置包括：至少一气体源，其提供制程气体并输送至气体分流装置；气体分流装置，其串联于所述气体源，将制程气体分别按照比例分离成至少两路输送至至少两路气体通道；压力计，其并联于所述两路气路通道的其中之一；其中，在每路气体通道上串联一流量限制器，所述流量限制器位于所述腔室的上游，所述气体通道连接于所述腔室的气体喷淋头。本发明能够通过压力计上的度数与标准压力值进行比较，从而判断是否需要更换气体分流装置。本发明能够快速有效地判断气体分流装置是否需要更换。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传输 装置 及其 分流 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体处理腔室的气体输送装置，其中，所述气体输送装置包括：至少一气体源，其提供制程气体并输送至气体分流装置；气体分流装置，其连接于所述气体源，将制程气体分别按照比例分离成至少两路输送至至少两路气体通道；压力计，其并联于所述两路气路通道的其中之一；其中，在每路气体通道上串联一流量限制器，所述流量限制器位于所述腔室的上游，所述气体通道连接于所述腔室的气体喷淋头。
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