[发明专利]感光性树脂组合物及使用其的感光性元件、抗蚀剂图形的形成方法及印刷电路板的制造方法在审
| 申请号： | 201310011482.6 | 申请日： | 2009-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN103064250A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 矶纯一;味冈芳树;石充 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/031;G03F7/09;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明涉及感光性树脂组合物及使用其的感光性元件、抗蚀剂图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，含有（A）粘合剂聚合物、（B）具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、（C）光聚合引发剂，上述（C）光聚合物引发剂含有通式（Ⅰ）表示的化合物及通式（Ⅱ）表示的化合物。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 元件 抗蚀剂 图形 形成 方法 印刷 电路板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有（A）粘合剂聚合物、（B）具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，所述（C）光聚合引发剂含有下述通式（Ⅰ）表示的化合物及下述通式（Ⅱ）表示的化合物，![]()
通式（Ⅰ），R1表示碳原子数2~20的亚烷基、碳原子数2~20的氧杂二亚烷基或碳原子数2~20的硫代二亚烷基，![]()
通式（Ⅱ）中，R2表示可具有取代基的芳基。
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