[发明专利]微机电系统（MEMS）结构和设计结构有效
| 申请号： | 201310001397.1 | 申请日： | 2013-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN103183309A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | C·V·亚恩斯;A·K·斯塔珀 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。所述方法包括在基底上形成至少一个固定电极。所述方法还包括在所述至少一个固定电极之上以从微机电系统（MEMS）梁的顶部观看的变化的宽度尺寸形成所述MEMS梁。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 结构 设计 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：在基底上形成至少一个固定电极；以及在所述至少一个固定电极之上以从微机电系统（MEMS）梁的顶部观看的变化的宽度尺寸形成所述MEMS梁。
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