[实用新型]一种用于制备晶圆上包层的专用设备

摘要

本实用新型公开了一种用于制备晶圆上包层的专用设备，该专用设备安装于旋转平台的上方，若干个晶圆设于所述旋转平台的顶面上且均分于同一圆周上，其特征在于，所述专用设备包括至少两个火炬，所述火炬竖直设置于所述旋转平台的上方，所述火炬向下延伸至所述旋转平台顶面上的垂足均布于同一圆周上，且与所述晶圆所位于的圆周重合。本实用新型通过增加火炬的数量，在反应速度以及其他条件不改变的情况下，既节约了工作时间，又提高了生产效率。

主权项

一种用于制备晶圆上包层的专用设备，该专用设备安装于旋转平台的上方，若干个晶圆设于所述旋转平台的顶面上且均分于同一圆周上，其特征在于，所述专用设备包括至少两个火炬，所述火炬竖直设置于所述旋转平台的上方，所述火炬向下延伸至所述旋转平台顶面上的垂足均布于同一圆周上，且与所述晶圆所位于的圆周重合。