[实用新型]一种基于电容读出的微机电电流传感装置有效
| 申请号： | 201220668760.6 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN202939208U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张渤;贾澎涛 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710054 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于电容读出的微机电电流传感装置，由下述部分构成：上、下层基底内腔设有固定电极，上、下层基底之间设有质量块与梁，所述的质量块与梁由中心质量块与四角的X型微形梁构成，质量块与梁上设有磁感应材料和可动电极，上、下基底键合连接。本实用新型非接触微机电电流检测结构原理简单，具有对称结构，性能稳定，测量范围宽，精度高，体积小，功耗小，可利用基本的半导体生产工艺大规模加工等特点。本实用新型可通过微机械加工技术大批量生产，成本低廉，使用寿命长。本实用新型具有结构简单合理，体积小巧优点，线性度好。可以根据被测电流的频率、量程，改变微型悬臂梁结构尺寸进行频率匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电容 读出 微机 电流 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种基于电容读出的微机电电流传感装置，包括上、下层基底（1）、固定电极（2）、可动电极（3）、磁感应材料（4）和质量块与梁（5），其特征在于：上、下层基底（1）内腔设有固定电极（2），上、下层基底（1）之间设有质量块与梁（5），所述的质量块与梁（5）由中心质量块与四角的X型微形梁构成，质量块与梁（5）上设有磁感应材料（4）和可动电极（3），上、下基底（1）键合连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安科技大学，未经西安科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220668760.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液晶显示器
- 下一篇：一种超高光谱分辨率气体中波红外光谱测量系统
