[实用新型]载片篮及具有其的太阳能硅片清洗装置有效
申请号: | 201220665471.0 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN202957228U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 马强 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种载片篮及具有其的太阳能硅片清洗装置。本实用新型提供了一种载片篮,包括围栏和与围栏底部相连接的多根支撑杆,载片篮还包括:多根支撑扁条,与围栏底部相连接。本实用新型还提供了另一种太阳能硅片清洗装置,包括清洗机的机械手和与清洗机的机械手相连接的载片篮,载片篮为前述的载片篮。本实用新型的载片篮及具有其的太阳能硅片清洗装置,包括围栏和与围栏底部相连接的多根支撑杆,与围栏底部相连接的还有多根支撑扁条。支撑扁条具有一定的宽度,支撑扁条与载片篮底部的支撑杆的接触面积较大,焊点也增大,使用起来不容易开焊,延长了载片篮的使用寿命。本实用新型解决了现有技术中载片篮容易开焊影响使用寿命的问题。 | ||
搜索关键词: | 载片篮 具有 太阳能 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种载片篮,包括围栏(10)和与所述围栏(10)底部相连接的多根支撑杆(20),其特征在于,所述载片篮还包括:多根支撑扁条(30),与所述围栏(10)底部相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造