[实用新型]多晶硅铸锭用新型石墨护板有效
申请号: | 201220657688.7 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN202954139U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 刘晓兵;赵福祥;朱琛;林佳继;赵同荣 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源(启东)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226200 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用新型石墨护板,为双层复合结构,一层为起坩埚支持作用的等静压石墨材料板,另一层为起保温作用石墨碳毡材料板。本实用新型结构合理,采用双层结构,在不降低石墨护板抗压能力的情况下,提高石墨护板的绝热性,从而实现石墨护板对坩埚内熔融硅的保温作用,减少坩埚侧壁的散热,是铸锭热场实现更为优化的垂直温度梯度,从而生产高质量的多晶硅锭或准单晶硅锭。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 新型 石墨 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用新型石墨护板,其特征是:为双层复合结构,一层为起坩埚支持作用的等静压石墨材料板,另一层为起保温作用石墨碳毡材料板。
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