[实用新型]一种带沟槽的发光二极管芯片有效
申请号: | 201220655256.2 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN203085625U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 王立彬;赖鸿章 | 申请(专利权)人: | 同方光电科技有限公司;同方股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100083 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种带沟槽的发光二极管芯片,涉及光电技术领域。本实用新型包括衬底和在衬底上生长的外延材料。其结构特点是,所述发光二极管芯片内部(非切割道区域)的上表面设有一个至多个任意排列的增光沟槽。本实用新型通过在芯片表面增加一个至多个增光沟槽,能有效提高发光二极管的出光效率,提高芯片亮度。 | ||
搜索关键词: | 一种 沟槽 发光二极管 芯片 | ||
【主权项】:
一种带沟槽的发光二极管芯片,它包括衬底和在衬底上生长的外延材料,其特征在于,所述发光二极管芯片(1)内部的上表面设有一个至多个增光沟槽(6)。2、 根据权利要求1所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述增光沟槽(6)的深度在芯片中的GaN层内,也可以达到芯片中的Al2O3衬底层内,或者达到芯片中GaN与Al2O3衬底界面处。3、 根据权利要求1或2所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述增光沟槽(6)通过ICP刻蚀、化学腐蚀或者激光加工获得。
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