[实用新型]一种用于硅单晶制备的区熔线圈

摘要

本实用新型提供一种用于硅单晶制备的区熔线圈，包括线圈骨架和线圈冷却水管，所述线圈冷却水管焊接嵌入所述线圈骨架内，其特征在于：所述线圈为平板单匝结构，所述线圈骨架的上表面设有向线圈内部凹陷的台阶，所述线圈骨架内圆处开有贯通上下表面的十字切缝，沿顺时针方向分别为第一切缝、第二切缝、第三切缝和第四切缝，在所述线圈骨架外圆沿第一切缝方向的一侧设有连接电极的法兰，所述法兰与第一切缝间开有一条主缝，所述线圈骨架上沿第三切缝方向还开有一条副缝，所述主缝和副缝的宽度均小于所述十字切缝的宽度。本实用新型的有益效果是提供一种热场均匀、熔硅下行顺畅、成晶率高的用于硅单晶制备的区熔线圈。

主权项

一种用于硅单晶制备的区熔线圈，包括线圈骨架和线圈冷却水管，所述线圈冷却水管焊接嵌入所述线圈骨架内，其特征在于：所述线圈为平板单匝结构，所述线圈骨架的上表面设有向线圈内部凹陷的台阶，所述台阶底部一端与所述线圈骨架内圆上边沿连接成斜面，与水平面呈一倾斜角；所述线圈骨架内圆处开有贯通上下表面的十字切缝，沿顺时针方向分别为第一切缝、第二切缝、第三切缝和第四切缝，在所述线圈骨架外圆沿第一切缝方向的一侧设有连接电极的法兰，所述法兰与第一切缝间开有一条主缝，所述线圈骨架上沿第三切缝方向还开有一条副缝，所述主缝和副缝的宽度均小于所述十字切缝的宽度。