[实用新型]石英导流锥有效
申请号: | 201220615233.9 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN202989344U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 闫卫东;李栎 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 西宁工道知识产权代理事务所 63102 | 代理人: | 全宏毅 |
地址: | 810000 青海省西宁市西*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型属于单晶硅生产技术领域,特别涉及一种单晶硅生产中使用的石英导流锥。石英导流锥的特征是根据单晶炉翻板阀阀口的尺寸,采用高纯石英为原料制作成石英管,在石英管的头部设有帽檐,使用中石墨导流锥的帽檐卡在翻板阀阀口内,翻板阀的尾部伸入到石墨导流锥的石英管内。该石英导流锥可有效地克服现有技术带来的上述不足,它具有结构简单,易于实现,有效减少了单晶硅直拉过程中气流循环薄弱区杂质在硅中的扩散,能够显著提高单晶硅品质等优点,有较好的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 石英 导流 | ||
【主权项】:
一种石英导流锥,其特征是根据单晶炉翻板阀阀口的尺寸,采用高纯石英为原料制作成石英管,在石英管的头部设有帽檐,使用中石英导流锥的帽檐卡在翻板阀阀口内,翻板阀的尾部伸入到石墨导流锥的石英管内。
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