[实用新型]晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，特别是指一种能精密微调晶圆镀膜平台的水平装置，使晶圆能均匀受热，以降低产品的不合格率，同时能纪录微调数据。其主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，而能利用调整装置的极精细微调，以控制调整台两端的水平距离，使固定板能同步随之调整，促使固定板上的加热平台能调整在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆能均匀受热，以提升晶圆镀膜的质量，且于水平调整后，能凭借数字千分表以纪录微调数据，供下次调整的参考，相当进步且实用。

主权项

一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其特征在于：主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，该固定板的端边开设有通孔，定位杆插置于通孔以连结固定板与调整台，使固定板能随着调整台的调整而同步移动，该调整装置的调整杆套入调整台的调整通孔，圆头垫圈、差动螺帽、微调手轮及固定螺帽依序套入该调整杆内，该调整装置设有能够通过转动来控制调整台两端的水平距离的差动螺帽及微调手轮，在调整台的侧边对应于该差动螺帽处设置有定位板，在调整台的端边设置有该数字千分表。