[实用新型]一种气体管路装置

摘要

本实用新型涉及一种气体管路装置，该气体管路装置为三段式结构，由主气路及两个支管气路构成，支管气路对称连接在主气路的两端，支管气路的端部通过封口螺丝封端。与现有技术相比，本实用新型提高机台所产硅片膜厚/折射率的片间均匀性性：支管气路增加了气孔，加强了对石墨框两边硅片的工艺影响，达到有效调节气量及均匀性的目的，另外还便于拆卸，延长气路使用寿命：封口螺丝采用外六角设计，易于用对应的开口扳手拆卸而不损伤管路。

主权项

一种气体管路装置，其特征在于，该气体管路装置为三段式结构，由主气路及两个支管气路构成，所述的支管气路对称连接在主气路的两端，支管气路的端部通过封口螺丝封端。