[实用新型]吸附载台

摘要

本实用新型提供一种吸附载台，提供薄型膜片的加工机台使用，利用负压吸力的非接触方式固定薄型膜片的位置，如此以避免刮伤薄型膜片，还利用反射的光线凸显薄型膜片的外围轮廓，而得以判定薄型膜片在吸附载台的实际置放位置，以提升后续对薄型膜片的加工准确度。本实用新型的吸附载台还设有L型定位件，L型定位件可升起以限制薄型膜片的移动，而对薄型膜片进行初始定位，L型定位件还可降下，以避免凸起而影响薄型膜片的后续加工程序。

主权项

一种吸附载台，其特征在于，包括： 本体，具有基座； 透光板，设于该基座，于背离该基座的表面设有用于吸附膜片的吸附区，并于面对该基座的表面设有反射膜以形成反射区，该反射区得将光线反射而引导到该吸附区，该基座与该透光板之间具有负压空间，该透光板具有多个隔开且分别由该吸附区穿过该反射区而连通到该负压空间的吸气通道，该膜片覆盖于该吸附区外露的吸气口； 发光条，设于该透光板的侧边，以朝该透光板的反射区发光；以及 L型定位件，设于该透光板侧边转角的凹陷区，该凹陷区的空间得收纳该L型定位件。