[实用新型]吸附装置有效
申请号: | 201220543427.2 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN202846418U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 宋延生;文斌 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 宋珊珊 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种吸附装置,包括载放台,所述载放台的上表面划分有一个或多个吸附区域;每个吸附区域凹设有吸附槽,每个吸附槽的槽底设置有一个或多个真空孔;抽真空单元,所述抽真空单元与每个真空孔相连通。本实用新型提供的吸附装置,在需要固定基板的时候,将基板放置在载放台上,基板与载放台的上表面相接触;启动抽真空单元,抽真空单元通过每个真空孔对每个吸附槽与基板之间进行抽真空,从而将基板吸附固定在载放台上。与现有的仅依靠真空孔进行吸附固定相比,本实用新型的吸附装置采用吸附槽这个简单的结构,增加吸附面积,从而改善了吸附固定基板的效果,同时,吸附槽的加工比较简单。 | ||
搜索关键词: | 吸附 装置 | ||
【主权项】:
一种吸附装置,其特征在于,包括:载放台,所述载放台的上表面划分有一个或多个吸附区域;每个所述吸附区域凹设有吸附槽,每个所述吸附槽的槽底设置有一个或多个真空孔;抽真空单元,所述抽真空单元与所述每个真空孔相连通。
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