[实用新型]一种激光划刻机中用的气浮系统有效
申请号: | 201220479752.7 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN202763297U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 樊成源;安丽娜;杨然翔;邢丽芬 | 申请(专利权)人: | 东旭集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/42 | 分类号: | B23K26/42;B23K26/36 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 王苑祥 |
地址: | 050000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种激光划刻机中用的气浮系统,结构中包括设置在机台上面、带有充气孔的气浮平台,及循环式充气系统,关键在于:所述的循环式充气系统的结构中包括:充气管路、与机台上设置的回气口连接的回气管路、及空气净化装置,回气管路的输出端与空气净化装置的输入端连接,空气净化装置的输出端与充气管路的进气口连接,借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。本实用新型的有益效果是:1.保证气浮压力恒定;2.保证温度恒定;3.保证湿度恒定;4.有净化机台内空气的作用。 | ||
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【主权项】:
一种激光划刻机中用的气浮系统,结构中包括设置在机台(1)上面、带有充气孔的气浮平台,及循环式充气系统,其特征在于:所述的循环式充气系统的结构中包括:充气管路(3)、与机台(1)上设置的回气口连接的回气管路(2)、及空气净化装置,回气管路(2)的输出端与空气净化装置的输入端连接,空气净化装置的输出端与充气管路(3)的进气口连接,借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。
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