[实用新型]太阳能电池扩散用石英源瓶有效
| 申请号： | 201220455964.1 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202786519U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 吴艳芬;余涛;刘伟;陈筑;刘晓巍;詹国平 | 申请（专利权）人： | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 代忠炯 |
| 地址： | 315177 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身（1），进气管（2），出气管（3）和热电偶探头套管（4），其特征在于：所述的进气管（2）包括竖管（2-1），连接于竖管（2-1）下端与竖管连通的横管（2-2），所示的横管（2-2）上设置有若干出气孔（2-3）。本实用新型具有使得瓶内液面在很低的时候也能保证足够的源蒸汽，提高了三氯氧磷使用率的同时，也可以减小环境压力的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身（1），进气管（2），出气管（3）和热电偶探头套管（4），其特征在于：所述的进气管（2）包括竖管（2‑1），连接于竖管（2‑1）下端与竖管连通的横管（2‑2），所示的横管（2‑2）上设置有若干出气孔（2‑3）。
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