[实用新型]多晶硅铸锭炉的热场结构有效
| 申请号： | 201220451255.6 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202730302U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 方定盛 | 申请（专利权）人： | 美尔森先进石墨（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括铸锭炉炉体，在该铸锭炉炉体内设置有支撑板、放置在所述支撑板上的石墨坩埚、及加热硅材料的加热器；所述加热器为由多块等静压石墨电阻围拢而成的罩体结构，该加热器定位罩设在所述石墨坩埚的外围。本实用新型通过将该加热器分为第一、二加热器组件两个部分，其中，第一加热器组件由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，第二加热器组件由四块呈波浪型的电阻依次首尾相连而成，且第一加热器组件通过多个连接件与第二加热器组件连接为一体。该加热器的结构既合理利用了铸锭炉炉体内的空间，又满足了铸锭炉需要的辐射面积，从而得到了稳定高效可靠的热场。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 结构 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括铸锭炉炉体，在该铸锭炉炉体内设置有支撑板（1）、放置在所述支撑板上的石墨坩埚（2）、及加热硅材料的加热器（3）；其特征在于：所述加热器（3）为由多块等静压石墨电阻围拢而成的罩体结构，该加热器定位罩设在所述石墨坩埚（2）的外围。
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