[实用新型]一种双面翻转门结构等离子清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种双面翻转门结构等离子清洗设备，包括真空系统，其主要特点在于由作为主泵的罗茨泵和作为前级泵的螺杆泵及粗抽阀门组成；门，其主要特点是一块平板，其上装有灯具挂具组件；真空室体，其主要特点在于主体是一个壳体，其上有密封圈、抽气口、观察窗、大气点测量点、充气装置、规管接口、包括精密气体质量流量计的掺气装置；铰链；挂具组件；高压引入；支架；极板；铰链固定板；铰链轴；铰链板；定位装置；转轴；把手；计算机控制系统。这种装置的优点在于通过本设备处理的灯具真空镀膜后膜基结合力及反光率较传统设备处理过的灯具有显著提高。本实用新型与传统设备相比结构简单，占地面积更小，生产周期更短，效率更高。

主权项

一种双面翻转门结构等离子清洗设备，其特征在于，包括真空系统（1），门（2），真空室体（3），铰链（4），挂具组件（5）,高压引入电极（6）,真空系统及室体支架（7）,高压轰击极板（8）;所述的铰链（4）包括铰链固定板（4a），铰链轴（4b），铰链板（4c），定位装置（4d），转轴（4e），把手（4f）。