[实用新型]销高度测量用块

摘要

销高度测量用块，主要解决现有技术存在的测量误差大，对加热基座上表面易产生损伤的问题。该测量用块具有上、下两个表面，在测量用块下表面的中间部分设有一凹槽；在测量用块的一端设有一校准深度尺用的纵向豁口；骨头孔位于测量用块的上表面上，该端侧面设有一个横向豁口，该横向豁口贯穿整个测量块，与另一端的纵向豁口相互垂直。该横向豁口的上表面高于销的高度，而其下表面低于销的高度，使销的端面正好处于整个横向豁口之内，销孔位于骨头孔的下方，销孔和骨头孔分别位于该横向豁口的上方和下方。本实用新型是在利用深度尺对晶圆支撑销的高度进行定位测量时，采用的一个辅助工具。其测量结果准确，对加热基座上表面不会造成损伤，其性能优于单纯采用深度尺的测量效果。

主权项

一种销高度测量用块，其特征在于：该测量用块具有上、下两个表面，在测量用块下表面的中间部分设有一凹槽，在测量用块的一端设有一校准深度尺用的纵向豁口，其深度与测量块高度一致，骨头孔位于测量用块的上表面上，该端侧面设有一个横向豁口，该横向豁口贯穿整个测量块，与另一端的纵向豁口相互垂直，该横向豁口的上表面高于销的高度，而其下表面低于销的高度，使销的端面正好处于整个横向豁口之内，销孔位于骨头孔的下方，与骨头孔在长度方向上同心，在宽度方向上稍微偏离骨头孔的中心，销孔和骨头孔分别位于该横向豁口的上方和下方，骨头孔的下表面是该横向豁口的上表面，横向豁口的下表面是销孔的上表面。