[实用新型]晶体生长装置有效
申请号: | 201220438861.4 | 申请日: | 2012-08-30 |
公开(公告)号: | CN202809009U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 于仁斌;张宸玮;谢佳颖;梁茂忠 | 申请(专利权)人: | 志圣科技(广州)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 任琳 |
地址: | 510850 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长装置,属于晶体技术领域,旨在提供一种提高长晶效果的新装置,其技术方案的要点包括炉体,及炉体内的腔室,其中所述的腔室内设有长晶平台,该长晶平台具有一顶面及一底面;在所述的顶面上设有放置原料及晶种的坩埚,在坩埚的外侧设有加热单元,在长晶平台的底面设有由高导热材料制作的传热体,传热体底部连接有流体式热交换器;本实用新型用于晶体生长。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长装置,包括炉体,及炉体内的腔室,其特征在于,所述的腔室内设有长晶平台,该长晶平台具有一顶面及一底面;在所述的顶面上设有放置原料及晶种的坩埚,在坩埚的外侧设有加热单元,在长晶平台的底面设有由高导热材料制作的传热体,传热体底部连接有流体式热交换器。
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