[实用新型]蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置有效
申请号: | 201220429935.8 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN202786512U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 方启彬;马剑钧;康宁 | 申请(专利权)人: | 贵州建新南海科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00;C30B35/00;F27D9/00 |
代理公司: | 遵义市遵科专利事务所 52102 | 代理人: | 刘学诗 |
地址: | 550004 贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,该冷却装置的结构包括圆形真空通道,及真空通道外壳和第一真空通道,第一真空通道再与第二真空通道连接,在第一真空通道中间设有进水和出水的盘形通水铜管,通水铜管上设有多组铜片。本实用新型结构简单、易于制造、铜片的大小根据通道的大小进行调整,解决了蓝宝石单晶炉设备中真空系统的温升问题。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 单晶炉 设备 真空 系统 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于:该冷却装置的结构包括圆形真空通道,第一真空通道外壳(5)和第一真空通道(3),第一真空通道(3)再与第二真空通道(4)连接,在第一真空通道(3)中间设有进水和出水的盘形通水铜管(1),通水铜管(1)上设有多组铜片(2)。
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