[实用新型]蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置有效
| 申请号： | 201220429934.3 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN202786511U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 方启彬;马剑钧;康宁 | 申请（专利权）人： | 贵州建新南海科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/00;C30B35/00;F16L27/107 |
| 代理公司： | 遵义市遵科专利事务所 52102 | 代理人： | 刘学诗 |
| 地址： | 550004 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，该结构组成包括：两端需要连接的第一真空通道装置和第二真空通道装置之间，由柔性连接件通过两端的外接法兰与两个刚性真空通道装置实现连接。本实用新型可很好解决两端刚性元器件不同尺寸和位置的连接，结构简单，易于制造安装，用于各种型号的蓝宝石单晶炉真空系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 设备 真空 系统 柔性 连接 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，其特征在于：该结构组成包括：两端需要连接的第一真空通道装置（1）和第二真空通道装置（3）之间，由柔性连接件（2）通过两端的外接法兰与两个刚性真空通道装置实现连接。
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