[实用新型]定点切割机的晶圆样品制备模板装置

摘要

本实用新型揭示了一种定点切割机的晶圆样品制备模板装置，该制备模板装置包括：校准部件，具有至少一直线；定位部件，所述定位部件为条形，所述定位部件与所述校准部件相连接；所述标记包括用于第一方向定位的第一标记、第二标记和用于第二方向定位的第三标记、第四标记，所述第一标记、第二标记、第三标记和第四标记均位于所述定位部件上；用于确定目标位置的样品孔。利用本实用新型提供的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，可以为定点切割机制备出合适的晶圆样品，该晶圆样品使定点切割机可以精确地将具有角度晶格的晶圆中的目标沿晶格方向进行切割，从而提高截面样品的制备速度与效率。

主权项

一种定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，包括：校准部件，具有至少一直线；定位部件，所述定位部件为条形，宽度大于等于10mm，长度大于等于20mm，所述定位部件与所述校准部件相连接，所述定位部件与所述校准部件的至少一直线之间具有夹角；标记，所述标记包括用于第一方向定位的第一标记、第二标记及用于第二方向定位的第三标记和第四标记，所述第一标记、第二标记、第三标记和第四标记均位于所述定位部件上，所述第一标记与第二标记的第一方向的距离为18mm～22mm，所述第三标记与第四标记的第二方向的距离为8mm～12mm，所述第一方向为所述定位部件的长度方向，所述第二方向为所述定位部件的宽度方向；以及样品孔，用于确定目标位置，所述样品孔位于所述定位部件上，所述样品孔中心的第一方向位置位于所述第一标记与第二标记的第一方向的距离的二分之一处。