[实用新型]离子分离装置有效
| 申请号： | 201220404855.7 | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN202712118U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 许飞;陈立峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出的一种离子分离装置，通过在绝缘子外围添加开口向上的第一罩子和开口向下并罩在第一罩子外围的第二罩子来保护绝缘子，避免其遭受污染，从而确保绝缘子的绝缘性，使石墨盘与萃取机本体完全绝缘，进而延长离子分离装置的工作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 分离 装置 | ||
【主权项】：
一种离子分离装置，其特征在于，包括：萃取机本体，顶部提供一开口；第一绝缘子，固定于所述萃取本体机开口内；活动部件，下端固定连接在所述第一绝缘子的上端；第一罩子，固定连接在所述活动部件上端的外周，并且开口朝上；第二绝缘子，下端与所述活动部件的定端固定连接；第二罩子，固定连接在所述第二绝缘子上端的外周表面，开口朝下并罩在所述第一罩子的外围；石墨盘，位于所述第二罩子上方并电连接所述第二罩子，所述石墨盘的盘面垂直于所述第二绝缘子上端表面；电源线，一端连接所述第二罩子，另一端连接一电源。
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